洁净车间煤气管道的主干应敷设在上、下技术夹层或技术通道内。当它们被水和电线缠住时，应该安装在它们的上面。与洁净车间无关的管道不得通过。不同介质的天然气管道应有明确的标识。各类气瓶储存库应集中设置在洁净车间外。当当天用气量不超过1瓶时，可在洁净车间设置气瓶，但须采取措施防止粉尘积聚便于清洗。
(1)可燃气体报警装置和事故排风装置
可燃气体易燃易爆危险性大，很有可能发生燃烧爆炸事故，并且导致安全事故时波及面广危害性大，导致的财产损失比较严重，以下部位需设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排烟风机联锁：
a、甲类火灾危险生产的气体入口室。
b、管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处。
c、洁净车间室内使用可燃气体处。
(2)管道安全技术措施
a、可燃气体管道需设以下安全技术措施:
接至用气设备的支管和放散管应设置阻火器;
引至室外的放散管应设防雷保护设施;
需设导除静电的接地设施。
b、氧气管道需设以下安全技术措施:
管道以及阀门、附件应经严苛脱脂处理;
需设导除静电的接地设施。